点击图片查看原图Mlase MLI-200 / 500 / 1000 准分子激光
MLase 的现代紧凑型 MLI 系列准分子激光器是 193 nm 或 248 nm 的紫外光源，脉冲能量高达 16 mJ，重复频率高达 1，000 Hz
市场上具有最高刀具寿命和可靠性以及低拥有成本的独立设备。由于光束轮廓均匀，能量稳定，适用于要求苛刻的应用。
后缀为LC的准分子激光器还可以选择主动水冷（通过家用水或外部热交换器;无去离子水），以实现稳定的连续运行。
Mlase MLI 准分子激光MLI-500 Arf主要功能
刚性设计
电晕预电离
固态电路
卡套管技术
能量监测器
紧凑型准分子激光，单相
Mlase MLI 准分子激光MLI-500 Arf优势
高可靠性
均匀梁剖面
即时可用，无老化
全金属密封管
数十亿脉冲的延长寿命
能量稳定
易于操作，易于集成
Mlase MLI-500 Arf准分子激光参数
波长（nm）193
最大重复频率（Hz）500
稳定脉冲能量（mJ）6
稳定脉冲功率（W）3.0
能量稳定性（西格玛，%）2
光束尺寸（FWHM，V x H mm）6x3
光束发散度（FWHM，V x H mrad）2x1
脉冲持续时间（FWHM）（ns）5-10
重量kg 75
冷却 空气
电源 230V, 50/60Hz, 2000W 最大
尺寸 (L x W x H) mm 560 x 315 x 445
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